清软微视（杭州）科技有限公司是由杭州政府引进、清华大学入股的高新技术企业，聚焦 AI 驱动的半导体检测技术创新,核心团队来自清华大学、中科院及半导体龙头企业 KLA 等机构，研发人员硕博学历占比超 30%。
公司构建覆盖半导体全制程的检测体系：Omega 系列无图形晶圆检测设备采用自主研发多模态成像技术，攻克碳化硅及氮化镓等宽禁带材料缺陷检测难题，性能对标 KLA 8520 及 SICA 88；Alpha 系列有图形晶圆检测设备集成 AI 算法与大视场成像系统，前道工艺检测效率提升 30%，指标达 KLA 8935 与 Camtek Eagle 标准；Mu 系列 COT / COW 缺陷检测设备专为芯片厂出货检测设计，支持 3D 模块集成，检测结果对标 Camtek Eagle AP; 自主研发的 AIRS 人工智能复判系统替代 70% 人工复检，适配全制程质控；DataPulse 数据分析平台深度挖掘缺陷数据助力工艺优化。